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本发明涉及半导体芯片加工制造领域。本发明提供一种背照式图像传感器的光刻机对准标记制作方法，在键合前的两片晶圆上通过任意光刻机分别制作红外对准标记；在键合、减薄后，通过红外光刻机找到存在于两片晶圆中的红外对准标记，利用此红外对准标记在减薄后的...
该专利属于长春长光圆辰微电子技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过长春长光圆辰微电子技术有限公司授权不得商用。

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