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本实用新型提供了一种MEMS器件，解决了现有技术中的MEMS器件中由于加入电容所导致的MEMS器件尺寸增大和布线难度增大的问题。MEMS器件包括：电路板，包括第一表面，第一表面上设置有第一接线端子；壳体，包括导电通路，壳体设置在第一表面上，...
该专利属于苏州敏芯微电子技术股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州敏芯微电子技术股份有限公司授权不得商用。

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