下载一种用于半导体光电器件封装的气密性检测装置的技术资料

文档序号:28093406

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本实用新型公开了一种用于半导体光电器件封装的气密性检测装置,属于光电器件封装领域,包括底板,所述底板顶端的一侧固定安装有安装板,所述底板顶端的另一侧固定安装有检测板,所述安装板靠近检测板的一侧固定安装有固定机构,所述检测板靠近安装板的一侧固...
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