温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本申请提供一种准分子激光器，包括：线宽压窄模块、种子腔、能量放大腔以及第一高反射镜、第二高反射镜、第三高反射镜、第四高反射镜和第五高反射镜；第一高反射镜、第四高反射镜和第五高反射镜的表面设有水平偏振态高反射膜层；第二高反射镜和第三高反射镜的...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。