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本实用新型属于半导体器件测试技术领域，公开一种具有保护功能的半导体器件测试装置，包括：测试回路单元，电性连接于被测器件单元形成保护支路；采集保护单元，采集所述被测器件单元的至少一电性能参数信号，所述采集保护单元根据所述电性能参数信号判断所述...
该专利属于清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学授权不得商用。

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