温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型提供一种卡盘及采用所述卡盘的键合设备，所述卡盘包括：盘体，在所述盘体上设置有多个真空吸附区，多个所述真空吸附区至少沿两个径向方向排布；控制装置，与所述真空吸附区关联，用于控制不同径向方向的真空吸附区彼此独立地运行。本实用新型的优点...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。