下载三维存储器器件的接触焊盘及其制造方法的技术资料

文档序号:28061300

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提供了三维(3D)NAND存储器器件和方法。在一个方面中,一种用于3D NAND存储器器件的制造方法包括提供衬底,在衬底的面侧的第一部分之上形成至少一个接触焊盘,在衬底的面侧的第二部分之上形成存储器单元,沉积第一电介质层以覆盖至少一个接触焊...
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