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本发明公开了一种含光酸产生剂的光刻胶树脂单体，涉及光刻胶领域，树脂单体的结构式如下所示：其中R1为氟代烷烃或含氧原子的氟代烷烃，R2、R3、R4各自独立的为氢或者烷基,R5为H或者甲基。该树脂单体改善光刻图形的边缘粗糙度，提高分辨率，提高了...
该专利属于上海博栋化学科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海博栋化学科技有限公司授权不得商用。

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