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我们提出了一种基于超短脉冲激光实现极深亚波长周期性结构的方法。该方法通过薄膜辅助，可以实现极深亚波长周期性结构的制备，其操作过程简单，制造成本低廉，可加工材料广泛，尤其是解决了对透明及超脆材料难以加工难题（可以极大的降低材料加工阈值），可实...
该专利属于四川大学所有，仅供学习研究参考，未经过四川大学授权不得商用。

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