【技术实现步骤摘要】
一种基于超短脉冲激光实现极深亚波长周期性结构的方法
[0001]本专利技术属于激光制造领域，具体涉及一种基于超短脉冲激光实现极深亚波长周期性结构的方法。
技术介绍
[0002]上个世纪人类最伟大的专利技术之一是激光，它极大地改变了我们生活。激光器从诞生以来，其在工业加工领域受到了广泛的关注，基于激光器的制造（如切割、打孔、焊接、除漆、除锈等）极大的提高了工业效率和加工精度和质量，且对推动智能制造也起着关键的作用。但普通的激光器加工材料仍存在很多问题，如加工端面粗糙、超精细加工困难、加工材料有限（尤其是对透明材料、超硬材料加工困难）等。光电子器件理论的迅猛发展，诸如超表面器件，新型拓扑光子结构器件等，迫切需要简单且高效的极小周期性结构的制造工艺。随着短脉冲激光器的出现，尤其是超短脉冲激光器（如皮秒激光器、超短脉冲激光器等）技术成熟，已经在激光材料加工领域开辟了一个新的路径。
[0003]目前制造极深亚波长周期性结构，主要通过深紫外的激光进行光刻实现，其设备昂贵且稀缺，制造工艺流程复杂，需要通过光刻机曝光后显影，刻蚀后，...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种基于超短脉冲激光加工极深亚波长周期性结构的方法，其特征在于利用超短脉冲激光对镀有薄膜的样品进行辐照加工，在衬底样品获得极深亚波长周期性结构，包括以下步骤：S101对待加工样品表面镀膜；S102调节激光参数与扫描参数，对样品进行加工；S103去除薄膜；S104得到极深亚波长周期性结构样品。2.根据权利要求1所述的一种基于超短脉冲激光实现极深亚波长周期性结构的方法，其特征在于在样品表面镀制的一层薄膜，其薄膜材料种类与样品匹配，其厚度为百纳米到微米量级。3.根据权利要求1所述的一种基于超短脉冲激光实现极深亚波长周期性结构的方法，其特征在于镀制薄...
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