下载声表面波谐振器及该声表面波谐振器的制造方法的技术资料

文档序号:28057288

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本发明的声表面波谐振器,包括:衬底;压电层,该压电层形成在所述衬底上并且所述压电层的厚度为0.8μm到1.2μm;以及叉指电极,该叉指电极具有多个形成在所述压电层中的电极指,并且所述电极指的厚度为300nm到500nm,所述电极指的宽度和间...
该专利属于广东广纳芯科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过广东广纳芯科技有限公司授权不得商用。

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