温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

在基板的面内快速形成膜厚均匀性高的涂布膜。实施以下工序：保持工序，由基板保持部保持基板；气流形成工序，对所述基板的周围进行排气来在该基板的表面形成气流；涂布液供给工序，向所述基板的表面供给用于形成涂布膜的涂布液；气流控制工序，使用于覆盖所述...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。