下载一种并联式二自由度电磁驱动柔性运动台的技术资料

文档序号:28050530

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本发明公开了一种并联式二自由度电磁驱动柔性运动台,该运动台包括二维并联柔性导向机构,所述二维并联柔性导向机构具有固定平台、运动平台、过渡板、数个刚性杆和数个柔性铰链,所述柔性铰链分别位于所述刚性杆的两端,所述刚性杆通过柔性铰链分别垂直固定于...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

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