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本发明涉及一种接触结构、半导体器件结构及其制备方法，接触结构包括：导电插塞；钝化保护层，覆盖所述导电插塞的侧壁。上述接触结构中通过在导电插塞的侧壁形成钝化保护层，防止导电插塞暴露于空气中，避免导电插塞的表面被氧化，在酸洗工艺中钝化保护层可以...
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