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半导体结构及其形成方法技术
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文档序号:28049720
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本发明涉及半导体制造技术领域,尤其涉及一种半导体结构及其形成方法。所述半导体结构包括:基底;第一导电结构,位于所述基底表面;布线层,沿垂直于所述基底的方向嵌入所述基底与所述第一导电结构之间,且所述布线层沿平行于所述基底的方向延伸出所述第一导...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。
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