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本发明涉及用于运输衬底的系统中的净化扩散器，其包含：i)净化扩散器核心，其具有内部净化气体通道、一或多个扩散器端口及外表面；ii)过滤介质，其固定到所述净化扩散器核心的所述外表面；iii)净化端口连接器，其用于将所述净化扩散器安装到用于运输...
该专利属于恩特格里斯公司所有，仅供学习研究参考，未经过恩特格里斯公司授权不得商用。

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