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描述了一种用于在真空腔室(210)中运输第一载体(10A)及第二载体(10B)的设备(100)。设备(100)包括第一运输系统(101)，包括用于非接触地保持第一载体(10A)的多个磁性轴承(120)及沿着第一运输路径(T1)移动第一载体(...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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