用于运输第一载体及第二载体的设备、用于垂直处理基板的处理系统及用于其的方法技术方案

描述了一种用于在真空腔室(210)中运输第一载体(10A)及第二载体(10B)的设备(100)。设备(100)包括第一运输系统(101)，包括用于非接触地保持第一载体(10A)的多个磁性轴承(120)及沿着第一运输路径(T1)移动第一载体(10A)的驱动单元(130)，磁性轴承(120)及驱动单元(130)布置于第一载体运输空间(15A)的上方。此外，设备(100)包括与第一运输系统(101)水平偏移的第二运输系统(102)，并包括用于非接触地保持第二载体(10B)的多个另外的磁性轴承(120B)及沿着第二运输路径(T2)移动第二载体(10B)的另外的驱动单元(130B)，其中另外的磁性轴承(120B)相邻于磁性轴承(120)布置。再者，描述了一种用于垂直处理基板的处理系统及用于其的方法。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于运输第一载体及第二载体的设备、用于垂直处理基板的处理系统及用于其的方法
本公开内容的实施方式有关于用于运输多个载体的设备及方法，此些载体特别是在大面积基板的处理期间所使用的载体。更特别是，本公开内容的实施方式有关于用于可应用于垂直基板处理的处理系统(例如用于显示器制造的大面积基板上的材料沉积)中的用于非接触运输载体的设备及方法。特别是，本公开内容的实施方式有关于在垂直基板处理系统中运输第一载体及第二载体的的设备，例如用于有机发光二极管(organiclight-emittingdiode，OLED)装置的制造。
技术介绍
用于基板上的层沉积的技术包括例如溅射沉积、物理气相沉积(physicalvapordeposition，PVD)、化学气相沉积(chemicalvapordeposition，CVD)及热蒸发。已涂布的基板可使用于各种应用中及各种
中。举例来说，已涂布的基板可使用于显示器装置的领域中。显示器装置可用来制造电视屏幕、电脑屏幕、移动电话、其他手持装置、及用于显示信息的类似者。一般来说，通过使用不同材料层的堆叠涂布本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于在真空腔室(210)中运输第一载体(10A)及第二载体(10B)的设备(100)，包括：/n第一运输系统(101)，该第一运输系统(101)沿着第一运输路径(T1)设置并包括第一上轨道区段(11U)，该第一上轨道区段(11U)包括：/n一个或多个磁性轴承(120)，用于在第一载体运输空间(15A)中非接触地保持该第一载体(10A)，该一个或多个磁性轴承(120)居中布置于将运输的该第一载体(10A)的重心的上方；及/n驱动单元(130)，用于沿着该第一运输路径(T1)移动该第一载体(10A)，该一个或多个磁性轴承(120)及该驱动单元(130)布置于该第一载体运输空间(15A)的上...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种用于在真空腔室(210)中运输第一载体(10A)及第二载体(10B)的设备(100)，包括：
第一运输系统(101)，该第一运输系统(101)沿着第一运输路径(T1)设置并包括第一上轨道区段(11U)，该第一上轨道区段(11U)包括：
一个或多个磁性轴承(120)，用于在第一载体运输空间(15A)中非接触地保持该第一载体(10A)，该一个或多个磁性轴承(120)居中布置于将运输的该第一载体(10A)的重心的上方；及
驱动单元(130)，用于沿着该第一运输路径(T1)移动该第一载体(10A)，该一个或多个磁性轴承(120)及该驱动单元(130)布置于该第一载体运输空间(15A)的上方；及
第二运输系统(102)，该第二运输系统(102)沿着与该第一运输路径(T1)水平地偏移的第二运输路径(T2)设置，并包括第二上轨道区段(14U)，该第二上轨道区段(14U)包括：
一个或多个另外的磁性轴承(120B)，用于在第二载体运输空间(15B)中非接触地保持该第二载体(10B)，该一个或多个另外的磁性轴承(120B)居中布置于将运输的该第二载体(10B)的重心的上方；及
另外的驱动单元(130B)，用于沿着该第二运输路径(T2)移动该第二载体(10B)，该一个或多个另外的磁性轴承(120B)及该另外的驱动单元(130B)布置于该第二载体运输空间(15B)的上方；
其中该一个或多个另外的磁性轴承(120B)相邻于该一个或多个磁性轴承(120)布置。


2.根据权利要求1所述的设备(100)，其中该一个或多个磁性轴承(120)及该一个或多个另外的磁性轴承(120B)相对于对称平面(105)镜像对称布置，该对称平面(105)位于该第一载体运输空间(15A)及该第二载体运输空间(15B)之间。


3.根据权利要求2所述的设备(100)，其中该驱动单元(130)及该另外的驱动单元(130B)相对于该对称平面(105)镜像对称布置，其中该驱动单元(130)至该对称平面(105)的横向距离大于该一个或多个磁性轴承(120)至该对称平面(105)的横向距离，并且该另外的驱动单元(130B)至该对称平面(105)的横向距离大于该一个或多个另外的磁性轴承(120B)至该对称平面(105)的横向距离。


4.根据权利要求1至3任一项所述的设备(100)，更包括第一下轨道区段(11L)及第二下轨道区段(14L)，该第一下轨道区段(11L)包括第一非接触引导布置(140A)，该第一非接触引导布置(140A)用于沿着该第一运输路径(T1)引导该第一载体(10A)，并且该第二下轨道区段(14L)包括第二非接触引导布置(140B)，该第二非接触引导布置(140B)用于沿着该第二运输路径(T2)引导该第二载体(10B)。


5.根据权利要求4所述的设备(100)，该第一下轨道区段(11L)及该第二下轨道区段(14L)在垂直方向(V)中是可移动的。


6.根据权利要求4或5所述的设备(100)，更包括致动器(124)，该致动器(124)耦接于该第一下轨道区段(11L)及该第二下轨道区段(14L)，用于调整该第一下轨道区段(11L)及该第一上轨道区段(11U)之间的距离以及用于调整该第二下轨道区段(14L)及该第二上轨道区段(14U)之间的距离。


7.根据权利要求1至6任一项所述的设备(100)，该一个或多个磁性轴承(120)包括一个或多个第一致动器(121)，用于非接触地保持该第一载体(10A)，该一个或多个另外的磁性轴承(120B)包括一个或多个第三致动器(121B)，用于非接触地保持该第二载体(10B)，该驱动单元(130)包括一个或多个第二致动器(132)，用于沿着该第一运输路径(T1)移动该第一载体(10A)，该另外的驱动单元(130B)包括一个或多个第四致动器(132B)，用于沿着该第二运输路径(T2)移动该第二载体(10B)，其中该一个或多个第一致动器(121...

【专利技术属性】
技术研发人员：奥利弗·海默尔，克里斯蒂安·沃尔夫冈·埃曼，拉尔夫·林登贝格，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：美国;US