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在第一方面，本发明涉及平面溅射靶(400)，其包含由急冷物叠层累积的靶材料层(410)，其中该靶材料层(410)具有层宽度(w)并具有跨该层宽度(w)变化的显微组织。在第二方面，本发明涉及制造这样的平面溅射靶(400)的方法。...
该专利属于梭莱先进镀膜工业公司所有，仅供学习研究参考，未经过梭莱先进镀膜工业公司授权不得商用。

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