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形成纳米孔的方法及生成的结构技术
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文档序号:28048270
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提供了用于制造紧邻的良好控制的固态纳米孔及所述纳米孔的阵列的方法。在一个实施方式中,将多个井及一个或多个通道形成于基板中。井中的每一者均与通道相邻。每个井的侧壁的一部分均被暴露。暴露侧壁的该部分最接近相邻的该通道。每个井的暴露侧壁的该部分均...
该专利属于应用材料公司所有,仅供学习研究参考,未经过应用材料公司授权不得商用。
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