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尺寸测量装置、尺寸测量方法以及半导体制造系统制造方法及图纸
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下载尺寸测量装置、尺寸测量方法以及半导体制造系统的技术资料
文档序号:28048200
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本公开涉及排除了尺寸测量所需的时间的缩短和操作者引起的误差的尺寸测量装置。提出了一种使用输入的图像来对测量对象的尺寸进行测量的尺寸测量装置,其特征在于,通过机械学习生成输入的图像的各区域按区域区分地被附带了标签的第1图像,基于生成的第1图像...
该专利属于株式会社日立高新技术所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社日立高新技术授权不得商用。
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