下载一种半导体激光器的封装结构及其封装方法的技术资料

文档序号:28044775

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本发明提供了一种半导体激光器的封装结构及其封装方法,半导体激光器的封装结构包括半导体激光器、半导体制冷器和设于半导体激光器与半导体制冷器之间的金属层,所述半导体制冷器包括硅衬底、设于硅衬底上的金属电极、沉积于金属电极上的半导体热电材料和刻蚀...
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