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包括具有硅化物层的串选择线栅电极的三维存储器件制造技术
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下载包括具有硅化物层的串选择线栅电极的三维存储器件的技术资料
文档序号:28043276
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提供了一种三维存储器件。该三维存储器件可以包括衬底、单元堆叠、串选择线栅电极、下垂直沟道结构、上垂直沟道结构和位线。串选择线栅电极可以包括下串选择线栅电极和形成在下串选择线栅电极的上表面上的上串选择线栅电极。下串选择线栅电极可以包括N‑掺杂...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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