下载具有突变掺杂剂分布的高纵横比的源极或漏极结构的技术资料

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具有突变掺杂剂分布的高纵横比的源极或漏极结构。描述了具有带有突变掺杂剂分布的源极或漏极结构的集成电路结构。在示例中,集成电路结构包括水平纳米线的垂直布置。栅极叠层在水平纳米线的垂直布置周围。第一外延源极或漏极结构在水平纳米线的垂直布置的第一...
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