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本发明的目的在于提供一种基板处理装置，该基板处理装置由于能够在一个装置内处理大小不同的基板而不需要部件更换时间及装置启动准备时间，从而能够提升工序效率的基板处理装置。用于实现此的本发明的基板处理装置用于处理基板，包括：基板支撑销，支撑所述基...
该专利属于系统科技公司所有，仅供学习研究参考，未经过系统科技公司授权不得商用。

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