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本发明提供提高接触精度的检查装置的控制方法和检查装置。该检查装置的控制方法中，该检查装置包括：具有多层检查室排的检查部，其中上述检查室排排列有多个收纳对基片进行检查的测试器的检查室；使基片接触到上述测试器的多个对准器，其在上述检查室排至少设...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

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