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真空泵减压装置和减压真空泵制造方法及图纸
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文档序号:28025904
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本发明涉及一种真空泵减压装置和减压真空泵,该真空泵减压装置设有进气通道端、排气通道端和减压腔,通过在减压腔设置气体加速模块,使气体加速区内的气体流速大于气体流入区内的气体流速,根据伯努利原理(气体流速越大,压强越小),通过速度变化,使原本压...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。
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