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一种PIN肖特基二极管的碳化硅MOSFET制造技术
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下载一种PIN肖特基二极管的碳化硅MOSFET的技术资料
文档序号:27980630
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本发明涉及一种PIN肖特基二极管的碳化硅MOSFET,包括半导体主体,所述半导体主体包括N型区、P+源极区,所述P+源极区设置在N型区上,所述N型区的下表面覆盖了金属化漏极;所述N型区的上表面与P+源极区的侧面形成沟槽,在所述沟槽内设置了栅...
该专利属于成都杰启科电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过成都杰启科电科技有限公司授权不得商用。
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