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本发明提供了一种炉管工艺的派工优化方法，包括：对所有晶圆按照机台允许存放的位置的不同进行分组；采集和预测晶圆到达炉管站点的时间；根据晶圆的分组信息，生成第一批次晶圆内的所有晶圆的派工方案，以形成方案池；依次生成每一批次晶圆的方案池，每一批次...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。

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