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本实用新型公开了一种适用于管式PECVD的石墨舟缓存上料机构，包括：传送线；以及设于所述传送线上的石墨舟缓存组件，所述石墨舟缓存组件包括：缓存底板，其与所述传送线滑动连接；以及至少三片缓存支撑板，其在底板与所述缓存底板相固接；其中，所述缓存...
该专利属于苏州拓升智能装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州拓升智能装备有限公司授权不得商用。

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