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本申请涉及一种FIB和打线综合加工平台，涉及半导体制造的领域，其包括工作台、进行镀层加工的FIB工位、进行打线的打线工位和在带动芯片两个工位之间切换的工位切换组件，FIB工位和打线工位分别设置在工作台的两端，工位切换组件设置在FIB工位和打...
该专利属于闳康技术检测(上海)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过闳康技术检测(上海)有限公司授权不得商用。

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