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本发明例示性的实施方式的温度调节系统的热交换部进行利用致冷剂的热交换，设置于载置被处理体的载置台内，具有多个热交换室，多个热交换室的每个热交换室分别配置在设定于载置台的多个区域的每个区域，多个区域沿载置台的载置面设定，冷却装置使致冷剂在其与...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

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