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提供了用于处理工件的装置、系统和方法。在一个示例实施中，与惰性气体混合的氢气可与氧气反应以在大气压下氧化工件。由热工件表面促进的氢气与氧气的化学反应可积极影响氧化工艺。化学反应的反应速度可通过将氢气与惰性气体混合减慢。这种混合物可有效降低氢...该专利属于玛特森技术公司;北京屹唐半导体科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过玛特森技术公司;北京屹唐半导体科技股份有限公司授权不得商用。