温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

提供一种能够以高灵敏度得到反映了试样的电子状态的对比度的电子束装置。电子束装置(1)具有：电子光学系统，向试样照射电子束，对从试样释放的释放电子进行检测；光脉冲照射系统，向试样照射光脉冲；同步处理部(17)，在电子光学系统中，与电子束的偏转...
该专利属于株式会社日立高新技术所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社日立高新技术授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。