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一种用于评估印制图案的图像的方法由至少一个可编程处理器实施。所述方法包括获得(2310,2320)所述印制图案的第一平均图像，其中所述第一平均图像是通过对所述印制图案的原始图像进行平均化而生成的。所述方法也包括识别(2330)第一平均图像的...
该专利属于ASML荷兰有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过ASML荷兰有限公司授权不得商用。

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