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本发明涉及一种蠕动式压电／电致伸缩微进给定位装置，该装置由主轴、伸缩致动件、箝位夹紧机构、导向固定件和预紧弹簧组成。伸缩致动件的两端与导向固定件相对固定，预紧弹簧置于导向固定件之间，导向固定件的一侧与伸缩致动件相连，另一侧与箝位夹紧机构的电...
该专利属于清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学授权不得商用。

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