蠕动式压电/电致伸缩微进给定位装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种蠕动式压电／电致伸缩微进给定位装置，该装置由主轴、伸缩致动件、箝位夹紧机构、导向固定件和预紧弹簧组成。伸缩致动件的两端与导向固定件相对固定，预紧弹簧置于导向固定件之间，导向固定件的一侧与伸缩致动件相连，另一侧与箝位夹紧机构的电磁磁路相对固定。本发明专利技术的定位装置在保持高位移分辨率的同时实现高精度和平稳的大行程进给定位，并且结构紧凑、控制方便，适用于微小型机械的加工、装配与操作。（*该技术在2018年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种蠕动式压电/电致伸缩微进给定位装置，属精密机械及精密运动控制
在精密机械及精密运动控制
，当运动分辨率达到亚微米级甚或纳米级时，固体致动器特别是压电/电致伸缩致动器在进给定位机构或系统中凸现出优势。压电/电致伸缩致动器件由于其位移分辨率高、减少中间运动传递部件、效率高、刚度大、响应快等优点，已广泛应用于微进给定位机构或系统。压电/电致伸缩微进给定位机构或系统在精密机械工程方面，用于刀具微进给、微雕刻系统、直线位移驱动、控制射流喷嘴、微型泵等；在光学及测量技术方面，用于透镜定位调节、激光调制、光纤定位对准、自动调焦、干涉测量、全息摄影、扫描探针显微测量等；在生物医学领域，用于眼外科手术等的微操作、细胞穿刺、微剂量控制器件、听觉生理刺激等；在微电子学和计算机技术方面，用于芯片和掩膜定位对准、光刻与半导体加工检查装置、磁盘和光盘制造装置及驱动器、点阵打印机等。上述一些成功的应用利用了压电/电致伸缩致动的优点。但应用于进给定位机构或系统时，直接利用压电/电致伸缩变形有其明显的缺点，即行程小，至多数10微米。蠕动机构的专利技术问世，巧妙地克服了行程小的缺点。以美本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种蠕动式压电／电致伸缩微进给定位装置，包括主轴、伸缩致动件，其特征在于还包括箝位夹紧机构、导向固定件和预紧弹簧；所述的伸缩致动件的两端部与导向固定件相对固定，导向固定件的内径面与主轴成滑动配合；预紧弹簧置于导向固定件之间；所述的箝位夹紧机构由不动部分的电磁磁路和可动部分的力放大杆、弧状杆、柔性铰链组成；导向固定件的一侧与伸缩致动件相连，另一侧与箝位夹紧机构的电磁磁路相对固定，导向固定件的柔性悬臂套的外径面与箝位夹紧机构可动部分的夹紧脚过盈配合。

【技术特征摘要】
1.一种蠕动式压电/电致伸缩微进给定位装置，包括主轴、伸缩致动件，其特征在于还包括箝位夹紧机构、导向固定件和预紧弹簧；所述的伸缩致动件的两端部与导向固定件相对固定，导向固定件的内径面与主轴成滑动配合；预紧弹簧置于导向固定件之间...

【专利技术属性】
技术研发人员：李勇，胡敏，周兆英，
申请(专利权)人：清华大学，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]