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本发明公开了一种弱耦合谐振器，涉及微机电系统技术领域，包括：由第一固定端和第二固定端固定的固支直梁；吸附在固支直梁上的质量吸附块；由第三固定端和第四固定端固定的固支余弦曲梁；固支余弦曲梁由驱动电压源通过固定电极驱动；第一固定端与直梁耦合电压...
该专利属于大连理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过大连理工大学授权不得商用。

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