一种弱耦合谐振器制造技术

本发明专利技术公开了一种弱耦合谐振器，涉及微机电系统技术领域，包括：由第一固定端和第二固定端固定的固支直梁；吸附在固支直梁上的质量吸附块；由第三固定端和第四固定端固定的固支余弦曲梁；固支余弦曲梁由驱动电压源通过固定电极驱动；第一固定端与直梁耦合电压源相连接；第三固定端与余弦曲梁耦合电压源相连接；固支直梁和固支余弦曲梁之间通过直梁耦合电压源和余弦曲梁耦合电压源产生的静电力进行直流电压耦合；通过调节驱动电压和耦合电压的大小，弱耦合谐振器在微质量传感器与MEMS带通滤波器之间功能切换。本发明专利技术能够进行微质量传感器和MEMS带通滤波器之间的随意切换，并且具有工艺简单，构型稳定易于加工等优点。

【技术实现步骤摘要】
一种弱耦合谐振器
本专利技术涉及微机电系统
，尤其涉及一种弱耦合谐振器。
技术介绍
如今，微系统(MEMS)谐振器凭借体积小、重量轻、成本低、可靠性高及可批量生产等优点，已经应用到了各个领域，如传感器、滤波器、开关等。现有的MEMS谐振器，如赵剑等人在“Anewsensitivityimprovingapproachformasssensorsthroughintegratedoptimizationofbothcantileversurfaceprofileandcross-section”(SensorsandActuatorsB:Chemical,2015.206:p.343-350)中提出了一种新的灵敏度改进方法，即通过同时改变悬臂梁的廓形和截面结构，实现有效刚度和质量分布的综合优化。然后，与传统的矩形悬臂梁传感器不同，设计了一种以凹槽梯形悬臂梁为关键弹性元件的新型压电谐振质量传感器。相比于几何尺寸相同的矩形悬臂梁传感器的模拟灵敏度高出近387.8％。但是这种方案只能用作质量传感器。吕明等人在“Exploitingnonl本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种弱耦合谐振器，其特征在于，包括：/n由第一固定端(1-1)和第二固定端(1-2)固定的固支直梁(2)；吸附在所述固支直梁(2)上的质量吸附块(8)；以及由第三固定端(1-3)和第四固定端(1-4)固定的固支余弦曲梁(3)；/n其中，所述固支余弦曲梁(3)由驱动电压源(5)通过固定电极(4)驱动；所述第一固定端(1-1)与直梁耦合电压源(6)相连接；所述第三固定端(1-3)与余弦曲梁耦合电压源(7)相连接；/n所述固支直梁(2)和所述固支余弦曲梁(3)之间通过直梁耦合电压源(6)和余弦曲梁耦合电压源(7)产生的静电力进行直流电压耦合；通过调节驱动电压和耦合电压的大小，所述弱耦合谐振器在微...

【技术特征摘要】
1.一种弱耦合谐振器，其特征在于，包括：
由第一固定端(1-1)和第二固定端(1-2)固定的固支直梁(2)；吸附在所述固支直梁(2)上的质量吸附块(8)；以及由第三固定端(1-3)和第四固定端(1-4)固定的固支余弦曲梁(3)；
其中，所述固支余弦曲梁(3)由驱动电压源(5)通过固定电极(4)驱动；所述第一固定端(1-1)与直梁耦合电压源(6)相连接；所述第三固定端(1-3)与余弦曲梁耦合电压源(7)相连接；
所述固支直梁(2)和所述固支余弦曲梁(3)之间通过直梁耦合电压源(6)和余弦曲梁耦合电压源(7)产生的静电力进行直流电压耦合；通过调节驱动电压和耦合电压的大小，所述弱耦合谐振器在微质量传感器与MEMS带通滤波器之间功能切换。


2.根据权利要求书1所述的弱耦合谐振器，其特征在于，所述固支余弦曲梁(3)的跨度等于所述固支直梁(2)的长度且等于所述固定电极(4)的长度。


3.根据权利要求书1所述的弱耦合谐振器，其特征在于，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵剑，钟恒，吕明，刘蓬勃，宋嘉濠，孙荣健，郑显泽，唐英海，
申请(专利权)人：大连理工大学，
类型：发明
国别省市：辽宁;21