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本发明公开了一种半导体干法刻蚀设备腔体水汽含量报警系统，包括半导体干法刻蚀设备和安装于半导体干法刻蚀设备上的水汽含量报警系统，水汽含量报警系统按照检测数据传输的过程依次设置有水汽检测装置、水汽检测计算机、继电器、蜂鸣器和工厂网络系统，水汽检...
该专利属于盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司授权不得商用。

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