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本公开提供了一种新型氢化物气相外延压力控制系统及方法，包括：反应室，与反应室连接的流量控制通路和微调气路；所述流量控制通路上依次设有真空泵和调节阀；所述微调气路上设有质量流量控制器，微调气路用于通入惰性气体，在质量流量控制器的调节下实现对反...
该专利属于山东大学所有，仅供学习研究参考，未经过山东大学授权不得商用。

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