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本发明实施例提供一种薄膜制备方法，包括：自衬底表面将活性粒子掺杂入衬底材料；在掺杂后的衬底表面上沉积形成薄膜。在沉积薄膜的过程中，活性粒子用于作为催化剂促使薄膜材料中的离子与衬底材料中的原子反应形成化学键。本发明实施例提供的薄膜制备方法，可...
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