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本申请涉及一种基于MEMS工艺的旋转镜、MEMS振镜及激光雷达，其中旋转镜，包括：硅基板，所述硅基板包括一体形成的支撑部和旋转部；所述支撑部为中空结构；所述旋转部位于所述支撑部的中空区域内；所述旋转部包括反射镜本体和用于将所述反射镜本体固定...
该专利属于深圳市镭神智能系统有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市镭神智能系统有限公司授权不得商用。

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