基于MEMS工艺的旋转镜、MEMS振镜及激光雷达制造技术

本申请涉及一种基于MEMS工艺的旋转镜、MEMS振镜及激光雷达，其中旋转镜，包括：硅基板，所述硅基板包括一体形成的支撑部和旋转部；所述支撑部为中空结构；所述旋转部位于所述支撑部的中空区域内；所述旋转部包括反射镜本体和用于将所述反射镜本体固定于所述支撑部的扭力梁对；以及反射层，形成于所述反射镜本体的第一面。上述基于MEMS工艺的振镜的旋转镜，在形成旋转部的同时能够一体形成用于固定旋转部的支撑部，从而利用支撑部来实现旋转镜与MEMS振镜的其他主体结构之间的固定，能够增加固定的稳定性，并降低由于固定过程对旋转镜所带来的磨损，能够有效提高旋转镜的使用寿命，进而提高使用了该结构的激光雷达的寿命。

【技术实现步骤摘要】
基于MEMS工艺的旋转镜、MEMS振镜及激光雷达
本技术涉及激光雷达
，特别是涉及一种基于MEMS工艺的旋转镜、MEMS振镜及激光雷达。
技术介绍
激光雷达由发射系统、接收系统、扫描系统等部分组成。也就是说，激光雷达通过发射激光束探测目标物体的位置、速度等特征量。随着激光雷达的发展，将微机电系统(Micro-Electro-MechanicalSystem，MEMS)振镜(本文中也简称为“振镜”)应用于激光雷达中，研发固态激光雷达成为近年来激光雷达的发展新趋势。MEMS振镜的工作模式多为谐振模式，具有尺寸小、震荡频率高、无旋转部件等优势。传统的激光雷达由于MEMS振镜较为容易发生损坏，导致整个激光雷达的寿命较短。
技术实现思路
为解决上述问题，本技术实施例提供了一种基于MEMS工艺的旋转镜、MEMS振镜及激光雷达，有效避免了传统中激光雷达的MEMS振镜容易发生损害导致激光雷达的寿命较短的问题。一种基于MEMS工艺的旋转镜，用于MEMS振镜中，包括：硅基板，所述硅基板包括一体形成的支撑部和旋转部；所述支撑部为本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于MEMS工艺的旋转镜，用于MEMS振镜中，其特征在于，包括：/n硅基板，所述硅基板包括一体形成的支撑部和旋转部；所述支撑部为中空结构；所述旋转部位于所述支撑部的中空区域内；所述旋转部包括反射镜本体和用于将所述反射镜本体固定于所述支撑部的扭力梁对；以及/n反射层，形成于所述反射镜本体的第一面。/n

【技术特征摘要】
20200430 CN 20202072014791.一种基于MEMS工艺的旋转镜，用于MEMS振镜中，其特征在于，包括：
硅基板，所述硅基板包括一体形成的支撑部和旋转部；所述支撑部为中空结构；所述旋转部位于所述支撑部的中空区域内；所述旋转部包括反射镜本体和用于将所述反射镜本体固定于所述支撑部的扭力梁对；以及
反射层，形成于所述反射镜本体的第一面。


2.根据权利要求1所述的旋转镜，其特征在于，还包括：
驱动线圈，形成于所述反射镜本体的第二面上且位于所述反射镜本体的外缘，所述第二面与所述第一面相对设置。


3.根据权利要求2所述的旋转镜，其特征在于，所述驱动线圈为通过在所述硅基板上形成导电层后对所述导电层进行刻蚀得到，或者先对所述硅基板进行刻蚀形成所述驱动线圈的填充槽后对所述填充槽进行填充得到。


4.根据权利要求1所述的旋转镜，其特征在于，所述扭力梁对为通过直线段和曲线段中的至少一种形成的非直线梁结构。


5.根据权利要求1至4任一所述的旋转镜，其特征在于，所述硅基板为单晶硅材质或者多晶硅材质。


6.一种MEMS振镜，其特征在于，包括：
振镜驱动架，包括第一支架；所述第一支架为中空结构；
旋转镜，所述旋转镜为如权利要求1至5任一所述的旋转镜；所述旋转镜的支撑部固定于所述第一支架上...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡小波，沈俭，
申请(专利权)人：深圳市镭神智能系统有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44