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本实用新型揭示了一种晶圆表面检验机震动侦测系统，该系统包括真空管道、真空传感器、吸取晶圆平台、第一光电传感器和第二光电传感器、控制装置、驱动装置、第一铁片和第二铁片，真空管道的一侧与吸取晶圆平台直通，另一侧与真空传感器连接，真空传感器与控制...
该专利属于矽品科技(苏州)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过矽品科技(苏州)有限公司授权不得商用。

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