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本发明涉及半导体材料生长技术领域，公开了一种恒温装置，该恒温装置包括加热器、致冷器、搅伴器、温度传感器和控制单元，该控制单元包括ＰＩＤ温度控制器和开关模式温度控制器，根据温度传感器所测的温度，所述ＰＩＤ温度控制器通过ＰＩＤ算法控制加热器的功...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。

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