The present invention relates to the technical field of semiconductor material growth, discloses a constant temperature device, the thermostatic device comprises a heater, cooler, agitator, a temperature sensor and a control unit, the control unit includes a PID temperature controller and the switch mode according to the temperature controller, temperature sensor temperature, thermostat to adjust the power of the PID temperature controller to control the temperature of the heater through the PID algorithm, the switch of the temperature controller to adjust the thermostat on-off heating or refrigeration temperature. The invention also discloses a control method of the constant temperature device. The invention can realize the energy saving while satisfying the temperature accuracy of the thermostatic device, in particular the raw material storage thermostatic device.
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体材料生长
，尤其涉及一种用于原料存储的 恒温装置及该恒温装置的控制方法。
技术介绍
在用于半导体材料生长的金属有机物化学气相外延(MOCVD)设备 中，原料要保存在温度相对恒定的装置中，温度的波动会影响到所生长的 材料的各项参数，从而偏离预期的实验目的。如图3中所示， 一般的 MOCVD设备的原料存储恒温装置包括比例-积分-微分(PID)温度控制器 和恒温槽，在恒温槽内安装有温度传感器、加热器、致冷器和搅拌器，并 且其控温模式为使致冷器处于常开启状态，而用PID算法控制加热器的 功率实现恒温控制。前述的控制模式的缺点是能耗大，也就是以高能耗来换取温度的稳 定。当设备处于待机状态时，原料恒温存储装置不需要很高的温度稳定性， 这时前述的控温方法是不经济的；再者，使致冷器处于常开启状态会影响 它的寿命；此外，现代化的设备总是希望有很高的自动化程度，希望整台 设备处于一台微机的控制之下。
技术实现思路
(一)要解决的技术问题 有鉴于此，本专利技术的一个目的在于提供一种双工作模式恒温装置，尤 其是用于MOCVD设备的原料存储恒温装置，以实现保持温度稳...
【技术保护点】
一种恒温装置，该恒温装置包括加热器、致冷器、搅伴器、温度传感器和控制单元，其特征在于，该控制单元包括比例－积分－微分ＰＩＤ温度控制器和开关模式温度控制器，根据温度传感器所测的温度，所述ＰＩＤ温度控制器通过ＰＩＤ算法控制加热器的功率来调整恒温装置的温度，所述开关模式温度控制器通过开启或关断加热或致冷器来调整恒温装置的温度。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：张日清，刘祥林，杨少延，张晓沛，董向芸，
申请(专利权)人：中国科学院半导体研究所，
类型：发明
国别省市：11[]
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