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本发明涉及一种晶圆加工设备及晶圆载具的清洁方法，晶圆加工设备包括晶圆载具、气源提供装置、及导向托盘。晶圆载具设有吹气通道。吹气通道的出气口形成于晶圆载具的承载面。气源提供装置与吹气通道的进气口相连通。导向托盘设置于承载面的上方，导向托盘的底...
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