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本发明提供一种漏电导电接触孔的识别方法及其识别系统。漏电导电接触孔的识别方法包括：获取三维存储器的导电接触孔的检测图像；确定分析区域内的每个导电接触孔的位置；根据所述检测图像识别所述分析区域内处于漏电位置的导电接触孔。本发明解决了在三维存储...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。

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