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半导体结构包括设置在金属线上方的第一钝化层,设置在第一钝化层上方的含铜RDL,其中含铜RDL电耦接至金属线,并且含铜RDL的与第一钝化层的上表面接触的部分形成锐角,以及设置在含铜RDL上方的第二钝化层,其中位于第二钝化层和含铜RDL的顶面之...该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。
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半导体结构包括设置在金属线上方的第一钝化层,设置在第一钝化层上方的含铜RDL,其中含铜RDL电耦接至金属线,并且含铜RDL的与第一钝化层的上表面接触的部分形成锐角,以及设置在含铜RDL上方的第二钝化层,其中位于第二钝化层和含铜RDL的顶面之...